刻蝕、去膠
刻蝕和去膠作為半導體工藝中至關重要的環節,車儀田不僅提供了精確的光電控制子系統,還提供了差異化定制。
沉積、外延、熱處理
在沉積、外延和熱處理工藝中,車儀田提供了溫度測量和氣體檢測產品,能有效地進行精準的工藝診斷和控制。
廠務端
在廠務端,車儀田提供了符合半導體行業標準要求的加熱套產品和其他氣體探測產品。
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